德國(guó)聯(lián)邦政府和巴伐利亞邦正考慮支援艾邁斯歐司朗（ams-OSRAM），增加其里根斯堡廠的光電元件研發(fā)投資。

    根據(jù)外媒報(bào)導(dǎo)，歐司朗要求超過(guò) 3 億歐元補(bǔ)貼，這將可創(chuàng)造 400 個(gè)新的高科技就業(yè)機(jī)會(huì)。該公司將利用這筆資金加大研發(fā)力度，建設(shè)新無(wú)塵室、實(shí)驗(yàn)室和試生產(chǎn)線。

    這筆資金將用于支援多個(gè)項(xiàng)目，包括 UV-C LED、LiDAR 應(yīng)用的 NIR 發(fā)射器、支援工業(yè) 4.0 應(yīng)用的新元件及 Micro LED 顯示技術(shù)。此外，歐司朗也開(kāi)始在里根斯堡建一條 8 吋 Micro LED 晶圓試生產(chǎn)線。

    雖然歐司朗早在 2019 年就和蘋果在實(shí)驗(yàn)室合作 Micro LED 項(xiàng)目，但制程上仍陷瓶頸。這款Micro LED 芯片尺寸約 8um，采垂直芯片結(jié)構(gòu)，因此巨量檢修難度相當(dāng)高，歐司朗也為此頭痛不已，加上 Micro LED 成本仍是一大考驗(yàn)，業(yè)界預(yù)期 Micro LED 搭載的 Apple Watch Ultra 手表，量產(chǎn)時(shí)間恐延至 2026 年第一季。

    歐司朗于 2021 年宣布投資 8.5 億美元擴(kuò)建馬來(lái)西亞 Kulim 的 LED廠，計(jì)劃在該地 8 吋晶圓廠上投產(chǎn) Mini LED 和 Micro LED 芯片，預(yù)計(jì)明年量產(chǎn)，用于小尺寸設(shè)備。

    值得注意的是，歐司朗今年初也與半導(dǎo)體沉積設(shè)備領(lǐng)先供應(yīng)商愛(ài)思強(qiáng)（Aixtron）宣布，愛(ài)思強(qiáng)的系統(tǒng)設(shè)備為下一代高分辨率 Micro LED 顯示器鋪平道路。其中，愛(ài)思強(qiáng)的 MOCVD 系統(tǒng)有望協(xié)助 Micro LED 批量生產(chǎn)。

    歐司朗稱，這項(xiàng)全新工具是世界首款全自動(dòng) AsP 反應(yīng)器，提供全自動(dòng)「檢測(cè)盒到檢測(cè)盒」（cassette-to- cassette）晶圓裝載以及基于原位蝕刻的清潔機(jī)制。這兩個(gè)特性結(jié)合在一起會(huì)對(duì)成品率產(chǎn)生顯著影響。此外，間歇式反應(yīng)器技術(shù)還為愛(ài)思強(qiáng)系統(tǒng)帶來(lái)了多項(xiàng)優(yōu)勢(shì)：其每片晶圓的生產(chǎn)成本在當(dāng)前市場(chǎng)上屬于最低級(jí)別，而單位潔凈室面積輸送量為最高級(jí)別。同時(shí)，該新工具擁有精確的流量和溫度控制功能，能在連續(xù)運(yùn)行時(shí)保持非常好的材料均勻性。

    目前這項(xiàng)設(shè)備能否解決瓶頸仍有待觀察，不過(guò)歐司朗執(zhí)行副總裁兼光電半導(dǎo)體業(yè)務(wù)負(fù)責(zé)人 Robert Feurle 表示，對(duì)于任務(wù)艱巨的項(xiàng)目，例如開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)適用于 AsP 和 GaN 元件的 Micro LED，愛(ài)思強(qiáng)正是歐司朗需要的合作伙伴。